| 一种普罗布特性测量装置的一个扫描探针显微镜 |
| KR1020050086203 2005-9-15 发明申请 |
| 2007-3-20 |
| 目的 : 一探针一种扫描探针显微镜的性能测量装置和方法，其被提供以简单和所述探针的变化的快速执行测量。结构 : 一个扫描探针显微镜探针的性能测量装置包括一一个扫描探针显微镜的探针，一个致动器(400)，一个检测单元(500)和一个控制器(600)。所述的探头扫描探针显微镜是设置在所述装置的一个侧。所述致动器被连接到所述探针以精细地振动所述探针。所述检测单元是对应地设置到所述探针检测所述的振动。控制器被电连接到所述检测单元和所述致动器到所述的基础上测量所述探针的性质每个自然频率的所述探针的。所述探针特性测量装置还包括一个光学散热器，和一个反射镜，所述的光学辐射器辐射一激光束到所述探针。所述反射镜反射的光信号到所述检测单元。kipo2007 |
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