| 浸没显微镜系统 |
| JP2005250825 2005-8-31 发明申请 |
| 2007-3-15 |
| 要解决的问题 : 提供一种浸没式显微镜系统能够有效地干燥所述的一种浸没的顶端物镜在短时间的周期。 溶液 : 所述浸没式显微镜系统包括 : 支撑装置(41至46)，用于支撑一基板10a到被观察到的; 所述浸物镜透镜11; 供应装置(13和14)用于供给液体31，用于观察以所述尖端端之间的区域所述物镜的透镜和所述衬底; 和干燥装置(15和16)用于干燥所述物镜的所述尖端端使用一干燥流体32后所观察的该衬底。 版权 : (C)2007，inpit |
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