| 显微镜检查装置 |
| JP2005244078 2005-8-25 发明申请 |
| 2007-3-8 |
| 要解决的问题 : 以有效地缓解外部力和以保持所述物镜的完整性和样品当所述外部力被施加到所述尖端所述物镜的透镜在一个方向相交的所述的光学轴它们。 溶液 : 该显微镜检查装置1包括一个装置体2,一基件3固定到所述装置本体2,一物镜透镜安装部件5用于安装一物镜透镜单元4,和一支撑机构6用于支撑所述物镜的安装构件5在这样的一种方式为,以使其在一个方向相交的运动所述物镜单元4所述的光学轴相对于该基座构件3。 版权 : (C)2007,inpit |