| 测量显微镜 |
| JP2005246099 2005-8-26 发明申请 |
| 2007-3-8 |
| 要解决的问题 : 提供一种测量显微镜,能够提高操作性的一个待测物体移动时以一测量位置。 溶液 : 该测量显微镜是配备有一电机驱动级2上,其中所述待测量对象S是放置; 一个物镜9; 一圆形手柄10,它是一个操作部分用于移动所述电动机-驱动级2; 一旋转编码器11与该圆形手柄10互锁; 一脉冲电机驱动器13一个旋转位置信号转换成一个马达驱动脉冲对应到该回转所述编码器的速度; 一移动脉冲电机4移动所述电动机-驱动级2在X-轴方向和Y-轴方向分别; 根据所述电机驱动脉冲; 和一个电机驱动旋转器的操作盒15切换一电机驱动旋转器8。因此,所述测量显微镜,其改进了可操作性和其中所述电动机-驱动级2,是由粗或移动精细的运动决定所述电动机-驱动级2所述的移动速度,所述的旋转量对应的所述圆形手柄10和透镜所述的物镜9被提供的信息。 版权 : (C)2007,inpit |