要解决的问题 : 提供一种极端-紫外射线显微镜，其可以执行一个高分辨率测试。

溶液 : 所述远紫外射线显微镜包括 : 一光源12发射一极端-紫外射线; 一个成像光学系统13，它是由一反射元件的多个的构成的多层和一种极端-紫外区域中冷凝所反射的光反射从所述照射该样品2样品2通过与所述冷凝从所述光发射极端-紫外射线源12; 一由多层的多个的半反射镜14，其被设置在所述光源12和所述聚焦光学系统13和所述的光反射部分的所述远紫外区和通过其一个部分; 一个图像检测部15，其检测所反射的光从所述样品图像时，所述反射光从该样品2是冷凝与所述聚焦光学系统13和由入射到所述图像检测部分15通过所述半反射镜; 和一个显示部分16，它显示所述图像检测与所述图像检测部15。