| 扫描电子显微镜 |
| JP2005240677 2005-8-23 发明申请 |
| 2007-3-8 |
| 要解决的问题 : 提供一种扫描电子显微镜，其可以收集在一个高的能量的电子在一个低角度和一短工作距离。 溶液 : 所述内透镜型或半-透镜型扫描电子显微镜中照射一样品1的表面与一个电子束，并检测从所述样品发射的二次电子1，为了得到一种图像的所述样品表面。该样品1是由一个壁6由一种材料的覆盖与一高二次电子发射速率，和该壁6被配置成使得一电压是从一个功率源7施加到所述壁6，以引导所述二次电子到一个二次电子探测器4发出的。 版权 : (C)2007，inpit |
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