| 扫描电子显微镜 |
| JP2005242181 2005-8-24 发明申请 |
| 2007-3-8 |
| 要解决的问题 : 提供一种扫描电子显微镜能够执行的检查的样品具有高精度同时，抑制所述样品的分解而不降低所述检查所述样品的速度。 溶液 : 该扫描电子显微镜1用于获得一种模版107的观察图像，通过照射所述掩模版107(样品)具有一主电子束和使用二次发射的电子被其特征在于，包括一灯114用于发光的真空紫外线的光具有波长低于172纳米到所述掩模版107所述气氛中; 辐照室123用于密封所述掩模版，以允许所述的真空紫外照射的光以该掩模版107; 和一个样本保持装置125中保持所述掩模版107所述辐照室123和可调节的所述灯114之间的距离和所述掩模版107。 版权 : (C)2007，inpit |
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