| 一种干泵配合扫描电镜的电气控制系统 |
| CN200520047936.6 2005-12-23 实用新型 |
| 2007-3-7 |
| 本实用新型公开了一种干泵配合扫描电镜的电 气控制系统，包括干泵、PC机、电源、系统开关模块，其特 征在于电源与系统开关模块直接连接，PC机输出控制信号送 入系统开关模块，系统开关模块的输出直接与干泵上的针接口 连接。其有益效果是，通过直接利用干泵上的外接串口，同时 再设置接口与PC机的系统控制模块，从而使得许多无法控制 自身运转的干泵能够接受控制信号从而正常地工作。 |
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