| 用于原子力显微镜和其它应用的振荡器和制造方法 |
| US11506970 2006-8-18 发明申请 |
| 2007-3-1 |
| 一种用于原子力显微镜的具有振荡器的装置，例如传感器。 一对同轴构件互连支撑结构和振荡器，用于扭转地悬挂振荡器。 所述同轴构件是氮化硅层或其它材料的一部分，所述氮化硅层或其它材料连接到振荡器和支撑结构，所述支撑结构由硅或其它材料组成。 一种制造包括振荡器的器件的方法， 包括在硅或其它第一材料上沉积一层氮化硅或其它第二材料， 在第一材料中形成支撑结构和振荡器， 包括施加蚀刻剂，所述蚀刻剂对所述第一材料是选择性的，以蚀刻贯穿所述第一材料的所有路径并使所述第二材料基本上未蚀刻，从而形成所述第二材料的所述至少一个柔性铰链。 |
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