| 振荡器和方法制造的用于原子力显微镜和其它应用 |
| WOUS06032386 2006-8-18 发明申请 |
| 2007-3-1 |
| 一装置具有一个振荡器，如一个传感器，用于使用在一种原子力显微镜。一对同轴构件的互连的支撑结构和所述的振荡器，用于扭转悬浮该振荡器。所述同轴构件的一氮化硅的层被部分或其它材料，其被连接到所述振荡器和支撑结构，其是由硅或其它的材料。一种用于制造一种装置，其过程包括一个振荡器，其包括硅或其他第一上淀积材料一氮化硅或其它的层第二材料，第一材料中形成一支撑结构和所述振荡器; 包括施加一蚀刻剂，其被选择用于第一材料与蚀刻所有所述的方式通过第一材料和离开第二基本上未蚀刻的材料，从而形成所述至少一个柔性铰链第二的材料。一装置例如一传感器，用于使用在一种原子力显微镜。该装置包括一第一振荡器，第第二振荡器，一对互连的第一共轴构件第一和第二用于扭转悬浮振荡器第一的振荡器，一个支撑结构，和一对的第二共轴构件的轴是正交于一个轴第一同轴构件和其互连第二的振荡器和所述支撑结构用于扭转悬挂第二的振荡器。 |
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