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用于该振动激励装置一羽毛\/弹簧杆的一光栅中的一个侧上的紧固力显微镜
DE102005038245 2005-8-12 发明申请
2007-2-22
一个叶片弹簧一个用于振荡激发的装置,其是一种原子力显微镜中的一个侧上的紧固(afm)和包括半导体材料,其不具有压电特性,一个自由端以其中一个尖端被连接,其为与一个待检查的样品表面接触。本发明具有所述叶片弹簧至少分段地连接至一金属层以形成一肖特基触点,和一个电电压或场源被提供,它产生一个电附近的交流电压或区域所述的肖特基接触。
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