| 扫描电子显微镜和其图像显示方法。 |
| JP2005233398 2005-8-11 发明申请 |
| 2007-2-22 |
| 要解决的问题 : 以提供一种扫描电子显微镜(SEM)能够缩短一个时间用于长度测量的检查在一种通过手动工作或该等缺陷分析时间，和其图像显示方法。溶液 : 该SEM1是配备有一CAD图像存储部分17用于存储CAD的数据图像样品105基于CAD数据的产生，用于示出其表面形状，除了SEM图像获取部11。所有的第一，一具有一低倍率的SEM图像或CAD图像的所述样品105被一显示部15上显示。然后，当一个域的指令信息用于指示放大显示是从一个操作输入的信息输入部16在所述显示图像，所述指定域是显示一个放大的CAD图像。此后，当一个域的指令信息用于指示显示在所述放大的放大的SEM图像被输入CAD图像，所述指定域是与一个规定的电子束照射，所述域和所述放大的SEM图像被获取，和所述放大的SEM图像被显示在显示装置15。版权 : (C)2007，inpit |
微信公众号