| 扫描探针显微镜与探针清洗机构和探针清洗方法。 |
| JP2005234147 2005-8-12 发明申请 |
| 2007-2-22 |
| 要解决的问题 : 以消除污染的一探针，同时防止样品从劣化的表面，而不去除任何悬臂。溶液 : 一扫描探针显微镜是提供，其包括 : 一样品测量室; 一探针清洗室; 和一个阻塞机构，用于阻挡上述两个室之间，和在其所述悬臂可被所述两个室之间移动。所述探针清洗室配备有一紫外线光照射机构和一个臭氧供给机构，和所述样品测量室和所述探针清洗室被阻断从每个其它操作时两个机构上方。该悬臂通过使用紫外光和臭氧清洁所述探头在所述探针清洗室。版权 : (C)2007，inpit |
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