| 扫描探针显微镜及其操作方法。 |
| JP2006142187 2006-5-23 发明申请 |
| 2007-2-22 |
| 要解决的问题 : 以可靠地避免接触的探针与样品在一个扫描探针显微镜和其操作方法。溶液 : 所述扫描探针显微镜使所述探针相对扫描样品表面，从而测量所述样品上的不规则表面。一扫描基准位置的所述高度方向被相应地更新所述高度信息到该峰值的值所述样品表面上然后在通过扫描一扫描线，所述相对移动的一极限值的所述探针在高度方向与所述扫描参考位置被设定，后和下一扫描线依次扫描所述更新。版权 : (C)2007，inpit |
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