| 扫描激光显微镜 |
| JP2005232011 2005-8-10 发明申请 |
| 2007-2-22 |
| 要解决的问题 : 以达到高度精确的观察容易地修正位置偏差的激光的光之间的用于观测和光学部件被切换时引起的激光光刺激或替换到或与另一个的一个。溶液 : 该扫描激光显微镜1包括; 一激光光源2用于观测观测用于发射所述激光光L1; 第第一光学扫描装置3用于二维扫描样品一与所述激光的光(L1)通过一个物镜透镜10; 检测光学系统12和13用于检测所述照射光F从所述样品发出的一个与所述激光光L1; 一种激发激光光源4用于发射所述激发激光的光(L2); 第第二光学扫描装置5用于二维扫描所述样品一与所述激发激光L2通过所述物镜透镜10; 一个光点位置检测装置14用于检测所述的位置通过所述激光光点形成的光L1和所述激发激光的光(L2); 和一校正装置15用于校正所检测的所述点的位置形成光通过所述激光光L1和所述激发激光的光(L2)。版权 : (C)2007，inpit |
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