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应用透射电子显微镜的电子束引发涂层的方法

US10711644 2004-9-29 发明授权

2007-2-20

一种用于制备用于对其应用微量分析的样品的方法，包括在半导体衬底上的限定的感兴趣区域上形成初始导电层，所述初始导电层通过电子束沉积工艺形成。去除包围感兴趣区域的一定体积的衬底材料，从而在感兴趣区域上形成样品，包括所述感兴趣区域和所述初始导电层。然后将样品从散装基材上移除。