| 共焦扫描型显微镜 |
| JP2005222740 2005-8-1 发明申请 |
| 2007-2-15 |
| 要解决的问题 : 以提供一种改进的共焦扫描型显微镜在一低亮度区域的分辨率，而不一种高亮度的降低分辨率区。溶液 : 所述共焦扫描型显微镜包括 : 一个共焦光学系统包括一个物镜15; 一个光检测器部分18接收检测光从一测量对象2通过所述共焦光学系统和产生一个检测信号; 一扫描系统用于二维扫描所述测量对象2与所述检测光，并且还扫描在所述所述物镜的光学轴方向15; 和一像素数据生成部19生成像素数据包括所述高度信息和所述的亮度信息所述基于一个二维扫描表面上的各像素上的所述检测信号。它是配备有 : 一增益调整装置用于调整所述增益的所述检测信号; 一比较部分23比较与一预定阈值用于每个像素的亮度有关的两个或多个像素数据。产生的同时使所述增益不同; 和一个图像数据生成部24生成所述三个三维形状的图像或所述的光量的图像的所述测量对象2构成的两个或多个像素数据基于该比较的结果由所述比较部23。版权 : (C)2007，inpit |
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