| 电子显微镜 |
| JP2005227401 2005-8-5 发明申请 |
| 2007-2-15 |
| 要解决的问题 : 以提供一晶片的装置能够提高吞吐量的检查通过进一步减小一个时间需要用于替换的一晶片，在扫描电子显微镜用于检查一半导体晶片。溶液 : 本发明的电子显微镜，其特征是 : 一晶片替换部分40中设置用于替换一待测晶片和被测晶片包括 : 一第一臂41a一通过滑动在纵向方向往复运动; 一个第一晶片的夹持部分45a设置在一尖端第一用于保持臂31a\/释放该晶片; 第第二臂41b通过滑动在纵向方向往复运动; 和一个第二晶片保持部45b设置在一尖端第二的臂41b用于保持\/释放所述晶片。版权 : (C)2007，inpit |
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