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一种跟踪合格自优化探针显微镜及方法

US11203506 2005-8-12 发明申请

2007-2-15

一种扫描探针显微镜和操作方法，用于监测和评估尖端和样品之间的正确跟踪，以及自动化先前手动完成的AFM设置的至少一些方面。优选地，比较对应于所获取的数据的局部斜率以确定自归一化的跟踪度量。