产业集群信息网

产业专利数据

显微镜和显微方法

WOEP06006664 2006-7-7 发明申请

2007-2-15

本发明涉及一种显微镜，其包括一辐射源模块(1)产生的电磁辐射用于照射一样品(6)到被检查，一个光学模块(2)引导所述辐射到该样品(6)，和一个检测模块(4)。检测所述来自所述的辐射照射的样品。所述辐射源模块(1)包括一种表面发射半导体激光器(7)具有一垂直共振腔室作为所述辐射源。