| 扫描探针显微镜的数字闭环扫描控制系统 |
| CN200510086212.7 2005-8-8 发明申请 |
| 2007-2-14 |
| 一种扫描探针显微镜的数字闭环扫描控制系统， 包括电子学部分、SPM探头部分和数字PID控制程序。电子 学部分以DSP主控板为核心，DSP主控板上的DSP芯片通过 USB接口和上位机实现通讯，并从DSP提供的总线中的地址、 数据和控制线通过接口电路连接至各个模块板卡上的CPLD芯 片，然后通过对CPLD的编程来实现地址译码、数据读写或锁 存等工作，实现DSP主控板对其余各功能板块的控制，对A/D 板过来的数据进行采集和数字PID调节，以及将调节后的数据 送入D/A转换板，从D/A板出来的电气信号经高压放大板滤 波放大后，控制探头进行扫描。以DSP作为运算基础的数字 PID控制程序可令扫描探针显微镜在扫描过程中完全通过数字 闭环控制来进行信号跟踪和反馈。 |
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