| 扫描探针显微镜 |
| JP2005214003 2005-7-25 发明申请 |
| 2007-2-8 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜下具有高的支撑刚性小振动的影响或一温度变化，一薄的构成单元，使得一物镜透镜或一照明装置可以带来足够接近到一具有一光学显微镜样品被组合时，和具有一个Z-轴的粗调整机构，从而一探针和样品之间的对准可以容易地执行。溶液 : 该Z-轴的粗调整机构110用于使一个扫描探针显微镜单元4，其中所述探头21上被安装靠近该样品S具有一具有一上表面移动的结构表中的可移动该Z-轴方向，开口部113，它是中空的，从所述的上表面到所述下表面，和一个槽口从一个外周部到所述中空的内周部包围所述周边开口部分113。所述扫描探针显微镜单元4被固定到XY-阶段140提供所述的上表面上的移动表和设置在所述中空开口部113。版权 : (C)2007，inpit |
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