| 方法用于测量扫描探针显微镜的探针和样品表面之间的距离，和扫描探针显微镜 |
| JP2005219116 2005-7-28 发明申请 |
| 2007-2-8 |
| 要解决的问题 : 以提供一种方法和装置用于测量一个扫描探针的探头之间的距离显微镜和一样品表面，其防止所述探针尖端与所述样品表面的接触和执行方法在一个高的速度。溶液 : 一个原子间力显微镜扫描所述样品的表面1使用该探针6和测量所述的不规则所述样品的表面1的具有原子分辨率。一个第一-步骤高的速度之间的距离缩短所述的方法，用于所述样品探针6和所述的表面1和一个第二-步骤精度方法被组合。作为结果，所述的方法，所述样品表面之间的时间和所述探针可以缩短作为一个整体。版权 : (C)2007，inpit |
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