| 双芯片原子力显微镜探针和用于其制造方法 |
| JP2006206778 2006-7-28 发明申请 |
| 2007-2-8 |
| 要解决的问题 : 提供一种双芯片的AFM探针和一用于其制造方法，其具有多个电绝缘的芯片。溶液 : 该原子力显微镜探针是一芯片结构3的构造具有两个芯片7和8在一悬臂2。该探针从每个其它芯片被电绝缘的和具有基本上相同的高度到所述悬臂。所述芯片结构3具有一对象所述的表面成形为一种形成具有一底面和一顶点。该对象被分成两个部分5和6通过一间隙4位于基本上对称于所述顶点。本发明具有这种关系，以所述的制造方法的AFM探针。版权 : (C)2007，inpit |
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