| 投射电子显微镜、电子显微镜、样品表面观察法和微器件制造法 |
| CN200580002507.X 2005-1-13 发明申请 |
| 2007-2-7 |
| 从阴极1发出的照明束4入射到偏转器3上。在 对偏转器3施加电压的状态下，由偏转器3改变照明束4的光 路；然后，照明束4穿过公共电子光学系统7，并对样品6的 表面照明。在不对偏转器3施加电压的情况下，照明束4直接 穿过偏转器3，并被电子吸收板17吸收。照明束4在穿过公共 电子光学系统7时衰减，以致于该电子束4在到达样品6表面 的时间点的能量接近于0eV。当照明束4入射到样品6上时， 从样品6产生反射电子8。这些反射电子8穿过公共电子光学 系统7，而且，在不对偏转器3施加电压的情况下，这些反射 电子8穿过图像聚焦电子光学系统9，使得电子投射到MCP 探测器10上。 |
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