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从透射电子显微镜测量衍射图案以确定晶体结构的方法及其装置

US10570336 2003-9-2 发明申请

2007-2-1

本发明公开了一种使透射电子显微镜能够非常精确地测量样品的电子衍射图案的装置和方法。所述图案适用于结构确定。在样品(4)之前，电子束借助于透射电子显微镜中的偏转线圈(6)进给，并借助于位于样品之后的偏转线圈(9)类似地进给电子衍射图案。利用位于样品后面的偏转线圈(9)扫描电子衍射图案。