| 双尖原子力显微镜探针和方法用于制造这种探针 |
| EP05447195 2005-8-30 发明申请 |
| 2007-1-31 |
| 本发明是涉及一种原子力显微镜探针，包括一尖端配置(3)与两个探针尖端(7，8)一个悬臂上的臂(2)，所述探针尖端被从每个其它电隔离和具有基本上相同具有相对于所述悬臂的高度臂，其特征在于，所述尖端配置所述的外表面(3)具有所述主体的形状与一基平面和顶点，该本体被分割成两个子部分(5，6)。通过一间隙(4)位于基本上对称地相对于所述顶点，以及其间隙基本上是垂直于所述基面。本发明同样涉及一种系统与方法用于制造这种AFM探针。 |
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