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4
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扫描探针显微镜及其操作方法
US11486399 2006-7-13 发明申请
2007-1-25
一种能够防止探针和样品之间接触的扫描探针显微镜和操作该显微镜的方法。 扫描探针显微镜通过相对于样品表面扫描探针来测量样品表面的形貌。 响应到目前为止扫描的扫描线上样品表面高度的最大值,更新高度方向上的扫描参考位置。 为探头在高度方向上相对于扫描基准位置的运动设置限制值。 在更新之后,扫描下一扫描线。 以这种方式,沿着连续的扫描线执行扫描。
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