| 扫描探针显微镜的全数字控制方法及系统 |
| CN200610088968.X 2006-7-27 发明申请 |
| 2007-1-24 |
| 本发明提供一种扫描探针显微镜的全数字化控 制方法及系统，由单个中央处理器多任务并行地进行反馈控 制、扫描控制、接受输入和数据处理。该控制方法为：将扫描 探针显微镜的针尖和样品相互作用大小转换成为电压值连接 到A/D卡，A/D卡周期性定时地进行A/D转换并在每次转换 完成后通过中断信号通知中央处理器，中央处理器暂停当前的 接受输入和数据处理的任务，转而进行反馈控制和扫描控制： 对A/D卡转换得到的数字量进行负反馈计算得到探针和样片 之间的距离，然后根据设定的扫描轨迹计算出针尖所要移动到 的位置，最后这些控制量通过D/A卡转换成电压，使探针发生 移动。本发明控制系统结构简单，全数字化的负反馈计算精度 高。 |
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