| 原子力显微镜悬臂以可能的读取\/抄 |
| KR1020050063670 2005-7-14 发明申请 |
| 2007-1-19 |
| 目的 : 一读\/写使能的原子力显微镜悬臂被设置，以提高灵敏度通过嵌入一个MOSFET(金属氧化物半导体场效晶体管)中所述原子力显微镜悬臂。结构 : 一种原子力显微镜悬臂包括一悬臂支撑，一种悬臂梁臂，一探针(150)，一金属层(160)，一个信道(170)，一源(180)，一个漏极(190)，和一个栅极(200)。第第一硅层，一氧化层，和一个第二硅层依次层叠在所述悬臂支撑。所述悬臂臂是通过延伸第二的硅层形成所述悬臂支撑，所述探针是形成在所述的悬臂第二的硅层，所述金属层是形成在该悬臂支撑。所述信道是形成在所述探针的下部分。杂质掺杂在所述源和漏极。该栅极是形成所述源和漏极之间。kipo2007 |
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