| 原子力显微镜探针 |
| JP2005189630 2005-6-29 发明申请 |
| 2007-1-18 |
| 要解决的问题 : 以引入四探针式探针具有一种新结构能够测量的电导率的成一种原子力显微镜。溶液 : 一微结构的四探针型原子力pafm探针的探针(4a)所述的基础上制造的一种常规的AFM探针是示意性地示出。所述pafm4a的一个电极构成的探针是通过三个狭缝的一个芯片上制造悬臂使用一聚焦离子束系统(fib)。一悬臂和探针基板被连接到一恒定电流源和一个数字电压表(未示出)。在所述分割状态为四个独立的导电部分通过蚀刻一个包被的金薄膜作为图中示出。(b)，和将一电流和电位的差信号分别。该探针被操作的两个外部电极作为一源极和漏极的电流，和优选该电位差是通过所述内部电极之间的间隔测量。版权 : (C)2007，inpit |
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