| 粒子探测器、扫描电镜及半导体检测设备 |
| CN202310816079.4 2023-7-4 发明申请 |
| 2023-11-3 |
| 本申请粒子探测设备技术领域，尤其是涉及粒子探测器、扫描电镜及半导体检测设备。该粒子探测器包括闪烁体、第一电极以及第二电极；第一电极贴合于闪烁体的表面并使闪烁体在厚度方向上的至少部分表面露出于第一电极；第二电极与第一电极在厚度方向上间隔设置且与第一电极以及闪烁体一起围成加速区，第二电极设有粒子过孔；第一电极的电势设置为大于第二电极的电势，以使经由粒子过孔进入加速区中的粒子进行加速。该粒子探测器在闪烁体的厚度方向一侧布置间隔设置的第一电极以及第二电极，形成悬浮于闪烁体一侧具有高压电势的加速区，该加速区以提高信号电子作用于闪烁体的入射能量，以使得闪烁体产生较强的光信号。 |
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