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产业专利数据

扫描探针显微镜

US11481401 2006-7-5 发明申请

2007-1-18

一种扫描探针显微镜，用于在不受样品表面吸附层影响的情况下精确地测量样品表面的弹性或塑性变形。显微镜的探针和样品彼此相隔一定距离放置。使探针和样品彼此接触，或者使彼此接触的探针和样品彼此脱离接触。显微镜设有使探针横向摆动的摆动单元。所述测量在大气中或低压环境中进行。