| 扫描探针显微镜中驱动X-Y扫描器的装置和方法 |
| US11147908 2005-6-7 发明申请 |
| 2007-1-18 |
| 本发明公开了一种用于驱动扫描探针显微镜中的X-Y扫描器的装置。 所述装置包括一个或多个位置检测器，用于检测移动台的移动位置并产生移动位置信号。 所述移动台能够保持试样并从基准位置沿着X轴和Y轴中的至少一个移动。 提供控制器，用于基于来自位置检测器的移动位置信号产生多个控制信号，使得移动台沿着X轴和Y轴中的至少一个移动一定的期望距离量。 此外，提供多个驱动器，用于响应于来自控制器的控制信号，沿着X轴和Y轴中的至少一个移动台。 |
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