| 形成装置的成像扫描电子显微镜的配方，其方法，半导体图案和形状的评价装置 |
| JP2005180457 2005-6-21 发明申请 |
| 2007-1-11 |
| 要解决的问题 : 以提供一种形成一个成像配方的装置及其方法能够优化的由教学，一种自动选择规则用于形成所述成像的配方，在SEM装置或所述等。溶液 : 将该形成装置，用于形成所述成像配方用于执行一种半导体图案的SEM观察通过使用一种扫描电子显微镜，其特征在于，配备有一数据库805用于输入所述半导体图案的布局信息与一低供电的可视场和存储它，和一个成像配方形成部806，809，用于形成自动所述成像的配方如下一种自动形成算法包括所述选择规则，用于选择一种基于优化的教学成像点在该半导体图案所述的布局信息存储在所述数据库。版权 : (C)2007，inpit |
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