| 扫描探针显微镜 |
| JP2005181358 2005-6-22 发明申请 |
| 2007-1-11 |
| 要解决的问题 : 使用一光学显微镜中，以解决的问题，它是硬到对准一个样品与一个所述的探针同时进行从背面观察样品。溶液 : 该扫描探针显微镜包括面向所述探针所述样品，一种用于将所述标本样品台在其放置表面，和一个扫描器用于扫描所述样品台在该放置表面的方向而改变其高度，以及显示一个图像基于检测的信号通过所述探针和所述样品之间的一个物理量作用。这个显微镜被配备有一反射镜与在其上至少其部分，用于将所述样品发射的光以反映所述样品从所述的背面所述样品台放置的表面，所述的光学显微镜用于接收一图像从所述反射镜，和一个与所述探针对准装置，用于相对对准所述样品，并对齐所述基于样品与所述探针在所述的光学显微镜所述的图像。版权 : (C)2007，inpit |
微信公众号