| 一种关键尺寸扫描电子显微镜标准样品和校准装置 |
| CN202321227957.0 2023-5-21 实用新型 |
| 2023-11-3 |
| 本实用新型公开了一种关键尺寸扫描电子显微镜(CD?SEM)标准样品和校准装置包括：一种关键尺寸扫描电子显微镜标准样品，所述标准样品分为四个不同的区域S1、S2、S3和S4，所述四个区域中图案的最小结构尺寸各不相同；所述四个不同的区域S1、S2、S3和S4中的每个区域又分为四个区域P1、P2、P3和P4，其中的图案为四种不同的形状；所述四种不同的形状又分为上下两个部分，为两种不同的图案类型。一种关键尺寸扫描电子显微镜校准装置，其特征在于，包括：样品承载装置、标准样品、三维运动平台，所述样品承载装置安装在所述三维运动平台上，同时所述样品承载装置上可以同时安装标准样品和待量测样品，使用本实用新型提供的标准样品和校准装置可以及时和高效地对CD?SEM进行校准。 |
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