| 用于近场光学显微镜扫描的方法涉及照明的扫描设备，其具有探针与照明设备和落物其被设置在预定的测量样品的表面上方的位置 |
| DE102005029823 2005-6-27 发明申请 |
| 2006-12-28 |
| 它成为一种过程用于深，所述的光学近场显微与所述步骤一扫描的照明装置(10); 其具有至少一个strewing探针(11)，其在一个预确定的测量位置在所述表面(2)的一个样品(1)被设置，与一照明机构(20)，从而一种近场strewing探针(11)之间的倒数效果和所述样品(1)被产生，和用于生产一个检测器的信号，其特性根据所述测量样品的特性位置，描述了具有一检测器的光的检测机构(30)，在所述strewingstrewn探针; 由此，一种姿态至少一个所述照明机构(20)的操作参数，所述扫描装置(10)和\/或所述检测器机构(30)是预期的，使得所述近场深度的倒数效应表现出效果，其上以一个预先确定的下面的弦齿齿顶表面(2)的样品(1)是足够的。还描述了一个装置到深所述的光学近场显微。 |
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