扫描探针显微镜与光学显微镜
 
JP2005179385  2005-6-20  发明申请

2006-12-28
 
  要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜与一光学显微镜,其中一个单元中设置在一个窄的空间,同时保持该光学显微镜和扫描探针显微镜的刚度,一物镜透镜是可更换的,一种照明聚光透镜是可用的,和执行测量是不被影响的振动,声音或温度改变。溶液 : 所述扫描探针显微镜单元1与光学显微镜包括 : 一扫描探针显微镜单元基部3用于设置一个扫描探针显微镜单元部4; 和一光学显微镜部8用于执行观察样品的样品架16上。一框架50构成该光学显微镜部8和所述单元基部3被独立地构成。版权 : (C)2007,inpit
 
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