超声耦合扫描探针显微镜
 
US11384088  2006-3-17  发明申请

2006-12-28
 
  扫描探针显微镜包括耦合到音叉或其它声学谐振器的探针尖端,以便当基于所施加的声学信号接触到样品表面时施加剪切力。 次级超声换能器与样品声学连通。 当探头尖端靠近样品表面时,探头尖端和辅助超声换能器声学耦合。 耦合到探头尖端或固定到样品或探头尖端的辅助超声换能器的声信号的谐振频率,导纳或其它特性的变化可用于样品成像或估计相对于样品表面的探头尖端放置。
 
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