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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

扫描电子显微镜与聚焦离子束复合系统

US11058945 2005-2-16 发明授权

2006-12-26

一种扫描电子显微镜(SEM)和聚焦离子束装置(FIB)的复合系统，具有用于将聚焦离子束照射到样品表面上的照射位置的FIB镜筒和用于观察加工的样品表面的加工状态的SEM镜筒。所述FIB透镜镜筒具有限定预选图案的至少一个狭缝的孔径，使得在用聚焦离子束照射样品表面期间，所述孔径被具有覆盖所述狭缝的宽度的聚焦离子束照射，从而以所述狭缝的预选图案的形式加工所述样品表面。