| onebody型探针与其安装和显微镜 |
| KR1020060028130 2006-3-28 发明授权 |
| 2006-12-22 |
| 目的 : 一个整体具有相同的探针安装和一个显微镜用于测量样本被提供以减少该时间与一种通过一体地移动头单元和所述探针的探针安装到设置位置。结构 : 一个整体探针安装件(210)包括一个安装固定单元(213)所述前侧到其上形成一头单元(112)配备与目镜透镜(112a)和一个物体透镜(112a,b)被固定,和一个定位装置放置部(211)弯曲从该安装固定单元和所述的下侧水平延伸,以代替一定位装置(220)移动并接触一个细终端,其是从一连接端子连接的一测量仪器,以一种细电极的一个样品(300)。所述定位装置通过开口放置部具有一个开口形成该平面的一预定区域的所述定位器将部,以使所述物镜向所述待检查的对象的一个上侧与眼通过该目镜透镜,kipo2007 |