| 一种原子力显微镜探针装置 |
| CN202321099334.X 2023-5-9 实用新型 |
| 2023-11-3 |
| 本实用新型涉及原子力显微镜技术领域，特别公开了一种原子力显微镜探针装置，包括探针安装座和探针载体；探针安装座的底部设有限位槽，限位槽设有至少一个第一磁块和预设安装位置，限位槽的宽度线性收窄；探针载体设有至少一个第二磁块，沿限位槽的收窄方向，探针载体可滑动地卡设于限位槽内；第一磁块设于相邻的第二磁块与限位槽的收窄端部之间，第一磁块与第二磁块磁性连接，第一磁块和第二磁块相互配合用于将探针载体吸引至预设安装位置，通过第一磁块与第二磁块错位布置的磁吸力及限位槽收窄结构，探针载体反复拆装后仍能与预设安装位置的定位面保持紧密接触，实现探针精准定位和安装，解决现有探针装置在反复拆装后定位精度下降的问题。 |
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