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扫描探针显微镜传感器及其制造方法

JP2003116970 2003-4-22 发明授权

2006-12-20

扫描探针显微镜(SPM)的传感器(13)包括悬臂(9)安装在支撑元件(10)与另一端所述悬臂的传感器尖端(8)。所述支撑元件是由光漆，优选SU-8，同时悬臂和尖端由从硅，硅化合物或金属。独立权利要求是用于制造方法制成的用于SPM传感器。