| 扫描探针显微镜 |
| JP2006209354 2006-8-1 发明申请 |
| 2006-12-14 |
| 要解决的问题 : 以提供高吞吐量的一个扫描探针显微镜，其可以不仅测量精确固体形式的信息，但还所述样品的本地特性上的分布数据而不损坏样品。溶液 : 该扫描探针显微镜是配备与一个光学-型高敏感的接近传感器，以控制所述样品和之间的近似所述探头，达到加速的方法对每个测量位置。另外，它使所述探针间歇地在与所述样品接触，从而不向拖动所述探针在该样品，以获得样品的高度数据，同时施加一个电压到所述探针在所述相同的时间作为所述周期用于接触该样品，测量响应通过使所述探针振动，和还检测本地光强度在所述样品的表面，以获得关于材料的附加信息分布在所述样品，而不具有到下扫描速率。版权 : (C)2007，inpit |
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