| 扫描电子显微镜中用于自动束优化的方法和装置 |
| US11147260 2005-6-8 发明申请 |
| 2006-12-14 |
| 本发明的方法和装置为扫描电子显微镜(SEM)，优选为临界尺寸扫描电子显微镜(CDSEM)定义最佳条件。 本发明提供一种图像质量监视器，其利用图像处理和优化来将图像质量保持在期望的水平。 从载物台样品中自动收集图像，同时基于图像处理确定显微镜操作参数，以便能够连续监测显微镜操作。 所述技术可以手动或自动地执行，并且产生用于光束调节元件的设定点，以产生或维持理想的光束条件，以提高图像质量。 本发明产生指示每个光束对准参数的优化值的数据。 将优化值应用于内部显微镜值以优化光束。 可以将结果提供给技术人员，数据存储系统或直接提供给显微镜控制机构。 |
微信公众号