| 用原子力显微镜确定样品的材料界面和计量信息的方法 |
| CN200610094518.1 2006-6-9 发明申请 |
| 2006-12-13 |
| 一种使用原子力显微镜确定样品的界面信息和 关键尺寸的方法。在关键尺寸信息处理之前，对扫描线执行末 端－样本去卷积。在多条扫描线上寻求每条扫描线的局部最大 值和最小值或者局部斜度改变。然后为多个最大值和最小值或 者斜度改变点寻求最佳拟合线。可以使用多个最大值或者最小 值或者斜度改变点寻求两条最佳拟合线。这两条最佳拟合线的 交点可用于确定诸如转变点之类的关键尺寸。这样的方法可以 用于确定梯形磁写入头的轨道宽度，或者可以用于确定磁写入 头上的喇叭张开点的位置。 |
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