| 微结构、悬臂、扫描探针显微镜以及用于测量微结构的形变量的方法 |
| CN200610091569.9 2006-6-9 发明申请 |
| 2006-12-13 |
| 微结构、悬臂、扫描探针显微镜以及用于测量微 结构的形变量的方法。针对在其至少一部分处产生弹性形变的 微结构，希望在希望的位置、以希望的形状和尺寸设置高效率 并且高灵敏度的极小尺寸的多个传感器。此外，还要求便于对 多个部件进行组装和调节，使检测电路小型化并简化，并测量 微结构的细微部分的局部位移。所公开的微结构是悬臂(1)，其 梁部(14)产生弹性形变。该悬臂(1)设置有通过隧道效应检测梁 部(14)的弹性形变的传感器(12)。 |
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