| 扫描探针显微镜 |
| JP2005151020 2005-5-24 发明申请 |
| 2006-12-7 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜能够制造的一个扫描范围大，能够观察样品与高精度。溶液 : 所述扫描探针显微镜包括一个探头1，一种位置检测器2用于检测所述位置的所述探针1，一移动机构3用于移动所述探头1所述方向交叉的所述样品中S在右角度，一扫描机构4用于移动所述移动机构3在所述X-轴方向交叉的Z-轴在一右角和一扫描机构用于移动所述移动机构3在Y-轴方向相互交叉的Z-轴和所述一右角处的X-轴。所述移动机构3是构成该压电元件10的Z-轴方向中延伸和收缩。所述扫描机构4是构成该压电元件11的延伸和收缩，在该Y-轴方向和一链路机构12用于放大和转换所述压电元件11的延伸和收缩在所述扩展和在所述X-轴方向收缩。所述扫描机构5是构成一种压电元件13的延伸和收缩，在所述X-轴方向和一链路机构14用于放大和转换所述压电元件13的延伸和收缩到所述扩展和在该Y-轴方向收缩。版权 : (C)2007，inpit |
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