| 扫描探针显微镜，样品观察使用所述相同的方法，和装置的制造方法。 |
| JP2006095169 2006-3-30 发明申请 |
| 2006-12-7 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜能够精确测量的三个样品的三维形状信息具有高吞吐量，而不给出的损伤到所述样品，并进一步，测量准确的样品的三-维形状信息，其包括垂直侧壁或端部。溶液 : 一种方法是提供在其中一个探针被带到与仅接触一个测量点，和所述探针是一旦拉向后时，航向到下一个测量点，和然后所述探针是带来到在其上后，到达接近下一个测量点，从而获得一精确的三个三维形状，而不给出的损伤到所述样品。在所述的方法，激发高频率\/分钟-幅度悬臂和振动进行检测，和此外，激发在一交叉在两个纵向\/横向方向或激励方向被进行，为了提高灵敏度的检测一接触力在一个陡斜面部。另外，一种装置，用于倾斜所述探针是提供以对应于所述的斜率一测量对象，和一结构，能够防止光的，它是用于检测所述探头接触的状态和所述样品，由于该斜率方向中从改变广泛的所述探针被反射后通过所述悬臂或能够在该方向的调整所述的光。版权 : (C)2007，inpit |
微信公众号